ASML出货超过100台EUV光刻机 新制程时代来临

芯研所消息，全球半导体的缺货，进一步激发了上游半导体设备厂商的产能，据外媒报道截至第二季度，ASML EUV设备出货总量达到102台，跟着需求量的进步和客户群的扩大年夜，估计2年内累计供给量将增长2倍以上，标记住EUV时代正式拉开帷幕。

据统计，以前四个季度（2020年第三季度-2021年第二季度），ASML EUV设备出货总计40台，较之前四个季度（2019年第三季度-2020年第二季度）增长了66%。ASML本年的出货目标是40台阁下，下半年将供给25台阁下。

ASML扩大年夜EUV设备供给响应了半导体系体例造业实现超微电路层的需求。尽管每台设备的价格达到1.71亿美元，但因为其卓越的工艺成本和省时后果，可以抵消设备采购的成本。业内人士指出，经由过程EUV可以降低设备成本和工艺成本，是以，在微加工范畴引进EUV设备的企业越来越多。

根据ASML的说法，5-7nm逻辑半导体（以每月45,000颗晶圆为基准）每个EUV层须要一台EUV设备，16nm及以下节点DRAM（以每月100,000颗晶圆为基准）每个EUV层则须要1.5-2台设备。三星电子筹划，到本年下半年为止，将14nm DDR5 DRAM的EUV应用层数从1层增长到5层，SK海力士也筹划增长EUV应用层数，是以，估计EUV设备的需求将进一步增长。

除了EUV层的增长，EUV设备的客户群也在逐渐扩大年夜。继2018年三星电子初次引进7nm制程的EUV设备后，台积电和SK海力士也参加了EUV竞争。美国的美光和英特尔也在推动EUV设备的引进，估计市场范围将进一步扩大年夜。

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